1880年出生于柏林的意大利后裔,馬塞洛·皮拉尼在很小的時(shí)候就注定要對(duì)真空技術(shù)做出重大貢獻(xiàn)。他在1904年完成了數(shù)學(xué)和物理方面的研究,并在研究生階段完成了研究,之后加入了西門子和哈爾斯克(Gluhampenwerk)白熾燈廠。他主要研究光源,也研究鉭燈的制造,鉭燈的制造需要比碳絲更高的真空度。
一個(gè)典型的問題是使用玻璃麥克勞德真空計(jì)進(jìn)行真空測(cè)量。它們?cè)谑謩?dòng)操作和對(duì)破損特別敏感方面存在問題;這樣做時(shí)會(huì)溢出有毒的汞。皮拉尼考慮到了這個(gè)問題,因此在1906年他發(fā)表了題為“直接指示真空計(jì)”的論文,后來被稱為“皮拉尼真空計(jì)”。
皮拉尼真空計(jì)的設(shè)計(jì)是通過利用電線的熱損失隨周圍壓力的變化來測(cè)量低壓。被加熱的金屬絲(在現(xiàn)代儀表中通常是鉑絲)由于氣體分子與金屬絲的碰撞而將熱量損失給氣體。熱損失取決于與金屬絲碰撞的次數(shù),因此取決于氣體的壓力/密度。隨著真空度的增加,存在的分子數(shù)量將成比例地減少。這降低了導(dǎo)線的冷卻效果。
電線的電阻隨溫度而變化。皮拉尼真空計(jì)以三種模式之一工作:恒壓、恒流或恒電阻(即溫度)。惠斯通電橋電路通常用于皮拉尼真空計(jì)燈絲是四臂電橋的一個(gè)臂的情況。壓力計(jì)的讀數(shù)必須針對(duì)不同的氣體(具有不同的導(dǎo)熱系數(shù))進(jìn)行校正或校準(zhǔn)。與麥克勞德壓力計(jì)相比,皮拉尼壓力計(jì)具有自動(dòng)化的優(yōu)點(diǎn)。現(xiàn)代壓力計(jì)可以測(cè)量從100/10到10-4毫巴,并通過利用對(duì)流損失的壓力依賴性擴(kuò)展到更高的壓力。
皮拉尼進(jìn)一步致力于高溫的光學(xué)測(cè)量,然后在1919年加入歐司朗,擔(dān)任科學(xué)技術(shù)局局長(zhǎng)。他在那里進(jìn)行了廣泛的研究,從鉭對(duì)氣體的吸附到白熾燈到氣體放電燈的轉(zhuǎn)變。在工業(yè)期間,他曾在柏林的技術(shù)大學(xué)和Technishe Hochschule擔(dān)任過多個(gè)職位。
從1936年起,皮拉尼在英國(guó)從事各種活動(dòng),包括耐高溫材料和細(xì)煤塵的利用。1953年,他回到德國(guó),為歐司朗提供咨詢服務(wù),88歲時(shí)在他出生的城市去世。
如今,皮拉尼規(guī)進(jìn)化到MEMS技術(shù),MEMS 傳感器遵循沒有化學(xué)反應(yīng)的物理皮拉尼原理,能夠基于氣體熱導(dǎo)率變化對(duì)于壓力進(jìn)行檢測(cè)。比如工采網(wǎng)代理的瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器MTCS2601就是基于皮拉尼原理的用于真空度檢測(cè)的傳感器, 由 4 個(gè) Ni-Pt 電阻組成的微機(jī)械的熱電導(dǎo)率傳感器,此熱導(dǎo)傳感器安裝在小型的 SMD 封裝內(nèi),功耗低。同時(shí)結(jié)合了低功耗 CMOS 標(biāo)準(zhǔn)集成電路,非常適合 OEC廠商的氣體泄漏檢測(cè)。