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工控人家園 綜合討論 晶圓AOI藍膜子母環的自動對焦有什么好的方式

wj991527381

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樓主發表于: 昨天

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晶圓AOI設備檢測對象子母環晶圓或鐵環晶圓有什么比較好的自動對焦方式目前用的慕藤光的圖像對焦

denghong

我是一只草泥馬.!

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1樓發表于: 11小時前

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總體來說同軸測量和對焦是最好的，但是一般成本貴，安裝受限制。再者就是旁軸了，先掃描，再來對焦了。

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